プルミアム
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リソテック株式会社

特許 全4件

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全4件 （1〜4件目を表示）

  1. 投影光学系、投影露光装置、及びデバイス製造方法

    出願日
    2014年1月22日
    登録番号
    6511701
    技術分野
    光学
    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

  2. 投影光学系、投影露光装置、及びデバイス製造方法

    出願日
    2014年1月22日
    登録番号
    6511701
    技術分野
    写真；映画；光波以外の波を使用する類似技術；電子写真；ホログラフイ
    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

  3. 投影光学系、投影露光装置、及びデバイス製造方法

    出願日
    2014年1月22日
    登録番号
    6511701
    技術分野
    基本的電気素子
    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

  4. 投影光学系、投影露光装置、及びデバイス製造方法

    出願日
    2014年1月22日
    登録番号
    6511701
    技術分野
    光学
    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）