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株式会社紀和産業

特許 全1件

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全1件 (1〜1件目を表示)

  1. 蒸着用ボートの保持装置

    出願日
    2016年2月15日
    登録番号
    6682098
    技術分野
    金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
    取得元:Gビズインフォ(特許庁データ)