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エピクルー株式会社

特許 全4件

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全4件 (1〜4件目を表示)

  1. エピタキシャル成長装置のプロセスチャンバ

    出願日
    2019年7月25日
    登録番号
    7311916
    技術分野
    基本的電気素子
    取得元:Gビズインフォ(特許庁データ)
  2. 半導体ウェーハ位置表示システム、半導体ウェーハ位置表示方法および半導体ウェーハ位置表示プログラム

    出願日
    2014年3月13日
    登録番号
    5710817
    技術分野
    基本的電気素子
    取得元:Gビズインフォ(特許庁データ)
  3. 半導体ウェーハ位置表示システム、半導体ウェーハ位置表示方法および半導体ウェーハ位置表示プログラム

    出願日
    2014年3月13日
    登録番号
    5710817
    技術分野
    基本的電気素子
    取得元:Gビズインフォ(特許庁データ)
  4. 半導体ウェーハ位置表示システム、半導体ウェーハ位置表示方法および半導体ウェーハ位置表示プログラム

    出願日
    2014年3月13日
    登録番号
    5710817
    技術分野
    計算または計数
    取得元:Gビズインフォ(特許庁データ)