プルミアム
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株式会社ＳＣＲＥＥＮフェバックス

特許 全3件

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全3件 （1〜3件目を表示）

  1. 基板搬送装置およびこの基板搬送装置を備えた基板処理装置

    出願日
    2018年10月22日
    登録番号
    7198039
    技術分野
    基本的電気素子
    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

  2. 基板搬送装置およびこの基板搬送装置を備えた基板処理装置

    出願日
    2018年10月22日
    登録番号
    7198039
    技術分野
    運搬；包装；貯蔵；薄板状または線条材料の取扱い
    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

  3. 基板搬送装置およびこの基板搬送装置を備えた基板処理装置

    出願日
    2018年10月22日
    登録番号
    7198039
    技術分野
    運搬；包装；貯蔵；薄板状または線条材料の取扱い
    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）