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1. 処理液回収機構付ウェーハ表面処理装置及びウェーハ表面処理方法

   出願日

   2022年1月13日

   登録番号

   7330307

   技術分野

   基本的電気素子

   取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

2. 処理液回収機構付ウェーハ表面処理装置及びウェーハ表面処理方法

   出願日

   2022年1月13日

   登録番号

   7330307

   技術分野

   基本的電気素子

   取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

3. 処理液回収機構付ウェーハ表面処理装置及びウェーハ表面処理方法

   出願日

   2022年1月13日

   登録番号

   7330307

   技術分野

   基本的電気素子

   取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

4. 処理液回収機構付ウェーハ表面処理装置及びウェーハ表面処理方法

   出願日

   2022年1月13日

   登録番号

   7330307

   技術分野

   基本的電気素子

   取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

5. 処理液回収機構付ウェーハ表面処理装置及びウェーハ表面処理方法

   出願日

   2022年1月13日

   登録番号

   7330307

   技術分野

   基本的電気素子

   取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

6. 処理液回収機構付ウェーハ表面処理装置及びウェーハ表面処理方法

   出願日

   2022年1月13日

   登録番号

   7330307

   技術分野

   基本的電気素子

   取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

7. 処理液回収機構付ウェーハ表面処理装置及びウェーハ表面処理方法

   出願日

   2022年1月13日

   登録番号

   7330307

   技術分野

   基本的電気素子

   取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

8. ウェーハ及びウェーハ積層体兼用のウェーハ保持構造並びに保持方法

   出願日

   2021年11月9日

   登録番号

   7376555

   技術分野

   基本的電気素子

   取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

9. ウェーハ及びウェーハ積層体兼用のウェーハ保持構造並びに保持方法

   出願日

   2021年11月9日

   登録番号

   7376555

   技術分野

   基本的電気素子

   取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

10. スピンエッチング装置用ポンプフィルターの再生システム及び再生方法

    出願日

    2021年10月27日

    登録番号

    7364641

    技術分野

    基本的電気素子

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

11. スピンエッチング装置用ポンプフィルターの再生システム及び再生方法

    出願日

    2021年10月27日

    登録番号

    7364641

    技術分野

    基本的電気素子

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

12. スピンエッチング装置用ポンプフィルターの再生システム及び再生方法

    出願日

    2021年10月27日

    登録番号

    7364641

    技術分野

    基本的電気素子

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

13. スピンエッチング装置用ポンプフィルターの再生システム及び再生方法

    出願日

    2021年10月27日

    登録番号

    7364641

    技術分野

    基本的電気素子

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

14. エピタキシャルウェーハの洗浄方法

    出願日

    2020年10月28日

    登録番号

    7300433

    技術分野

    結晶成長

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

15. エピタキシャルウェーハの洗浄方法

    出願日

    2020年10月28日

    登録番号

    7300433

    技術分野

    基本的電気素子

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

16. エピタキシャルウェーハの洗浄方法

    出願日

    2020年10月28日

    登録番号

    7300433

    技術分野

    結晶成長

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

17. エピタキシャルウェーハの洗浄方法

    出願日

    2020年10月28日

    登録番号

    7300433

    技術分野

    結晶成長

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

18. エピタキシャルウェーハの洗浄方法

    出願日

    2020年10月28日

    登録番号

    7300433

    技術分野

    基本的電気素子

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

19. エピタキシャルウェーハの洗浄方法

    出願日

    2020年10月28日

    登録番号

    7300433

    技術分野

    金属質材料への被覆；金属質材料による材料への被覆；化学的表面処理；金属質材料の拡散処理；真空蒸着，スパッタリング，イオン注入法，または化学蒸着による被覆一般；金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

20. エピタキシャルウェーハの洗浄方法

    出願日

    2020年10月28日

    登録番号

    7300433

    技術分野

    基本的電気素子

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

21. 搬送ヘッドおよび搬送装置

    出願日

    2019年11月6日

    登録番号

    7352168

    技術分野

    研削；研磨

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

22. 搬送ヘッドおよび搬送装置

    出願日

    2019年11月6日

    登録番号

    7352168

    技術分野

    基本的電気素子

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

23. 搬送ヘッドおよび搬送装置

    出願日

    2019年11月6日

    登録番号

    7352168

    技術分野

    基本的電気素子

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

24. 搬送ヘッドおよび搬送装置

    出願日

    2019年11月6日

    登録番号

    7352168

    技術分野

    研削；研磨

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

25. 搬送ヘッドおよび搬送装置

    出願日

    2019年11月6日

    登録番号

    7352168

    技術分野

    工作機械；他に分類されない金属加工

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

26. 搬送ヘッドおよび搬送装置

    出願日

    2019年11月6日

    登録番号

    7352168

    技術分野

    工作機械；他に分類されない金属加工

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

27. 搬送ヘッドおよび搬送装置

    出願日

    2019年11月6日

    登録番号

    7352168

    技術分野

    基本的電気素子

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

28. 搬送方法および搬送装置

    出願日

    2019年10月11日

    登録番号

    7430872

    技術分野

    研削；研磨

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

29. 搬送方法および搬送装置

    出願日

    2019年10月11日

    登録番号

    7430872

    技術分野

    研削；研磨

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）

30. 搬送方法および搬送装置

    出願日

    2019年10月11日

    登録番号

    7430872

    技術分野

    研削；研磨

    取得元：Gビズインフォ（特許庁データ）